这就要求晶圆倒片机具有极高的传迎效率战干脏

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京仪从动化配备手艺无限公司颠末多年摸索，近日，它的使命是将产线上的晶圆通过制程需要进行分批、归并、翻转后进行下一道法式，据日报，晶圆倒片机是用来调整集成电产线上晶圆出产材料序列的一款设备，破解了国产晶圆从动翻转倒片机从动化难题。成功研发出国内首台晶圆从动翻转倒片机，这就要求晶圆倒片机具有极高的传送效率和干净程度。